단성일렉트론은 27일 아이피에스에 LCD 장비 중 소모성 부품 가운데 하나인 ESC(정전척.Electro Static Chuck) 납품계약을 체결했다고 밝혔다.
LCD용 ESC는 LCD 제조장비인 진공챔버 내부에 정전기의 힘을 이용해 LCD 기판을 하부전극에 고정시키는 부품으로 6세대 이상 LCD 공정에서는 필수 소모품이다.
단성일렉트론은 "LCD용 ESC는 2006년에 국내 처음으로 국산화에 성공했다"며 "8세대용 ESC를 국내에 공급하는 것은 국내 LCD 장비 소모성 부품회사로서는 이번이 처음"이라고 설명했다.
회사 측은 "이번 계약으로 8세대 LCD용 ESC가 아이피에스사를 통해 삼성전자에 공급되고, 5세대 LCD용 ESC도 일본 시장에 공급할 예정"이라며 "이에 따라 8세대용 ESC의 해외시장 진출도 기대된다"고 설명했다.
<연합뉴스>
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