하이닉스반도체 이천단지가 ‘무방류시스템 도입’과 ‘공장 총면적 유지’를 전제로 최첨단 구리공정을 도입할 수 있게 된다. 이에 따라 이천단지는 40나노대 이하 최첨단 반도체 생산 부문에서 새로운 활로를 모색할 수 있게 됐다. 환경부는 11일 하이닉스반도체가 요청한 이천단지(현 알루미늄 공정)의 구리공정 전환에 대해 무방류시스템을 전제로 이를 허용하기로 하고 관련 법령개정에 착수했다고 밝혔다. 본지 12월 7일자 3면 참조
그러나 하이닉스 측으로서는 무방류시스템 도입이 새로운 투자비를 유발하는데다 공장 총면적 유지 조건이 반도체 팹 대형화의 발목을 잡을 수밖에 없어 구리공정을 적용할 새 라인이 경쟁사에 비해 원가부담이 큰 조건에서 가동해야 하는 부담을 안게 됐다.
홍준석 환경부 수질보전국장은 “팔당·대청호 상수원 수질보전 특별대책지역 내에서 공정 전환 시 발생하는 구리 등 3종의 특정수질유해물질의 무방류시설을 설치하면 공장 가동을 허용하기로 했다”며 “그러나 무방류시설을 도입할지라도 신·증설에 ‘허용을 절대 불가한다’는 방침은 그대로 유지된다”고 말했다.
홍 국장은 논란의 소지가 있는 기존 공장의 개보수는 “200㎜ 팹을 300㎜ 팹으로 전환하거나 D램 라인을 낸드플래시 라인으로 바꾸는 등의 용도 변화는 개보수 공장의 총면적이 기존 규모를 넘지 않을 때에 한해 허용한다”는 견해를 밝혀 공장부지면적이 증가하는 신·증축이 아닐 때에만 첨단 공정 팹을 설치할 수 있도록 했다.
이번 결정으로 하이닉스반도체는 일단 내년 하반기부터 41나노 32Gb 플래시메모리 생산부터 구리공정을 적용할 수 있게 돼 급한 불을 끌 수 있게 됐다. 또 기존 공장도 대형웨이퍼 및 첨단공정을 사용하는 시설로 업그레이드할 수 있는 기반을 마련했다. 이 때문에 하이닉스 측은 이번 환경부의 결정에 일단 환영한다는 태도다.
그러나 이번 조치로 하이닉스 이천단지가 삼성전자의 화성·기흥 단지와 같은 반도체클러스터로 기능을 이어갈 수 있을지는 미지수다. 반도체업계 한 관계자는 “가격과 기술 경쟁력 유지를 위해서는 R&D팹과 양산팹을 아우르는 대규모 클러스터화가 필요하고 이는 세계적인 추세”라며 “이번 조치로 이천단지는 반도체단지로서의 생명력은 연장했으나 총면적 제한이라는 조건으로 사실상 규모확대가 불가능해 하이닉스로서는 이천단지를 살리기 위해서는 다른 대안을 찾아야 하는 숙제를 안게 됐다”고 말했다.
심규호기자@전자신문, khsim@
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