국내 진공기술 2건 국제표준 예약

　우리나라의 진공기술이 국제 표준으로 채택될 전망이다.

　산업자원부 기술표준원은 우리나라가 국제 표준으로 제안한 ‘진공밸브 시험절차’와 ‘진공밸브 시험절차 관련 이온게이지 사양’ 2종의 진공기술 규격안이 국제표준화기구(ISO) 기술위원회의 승인을 받아 국제 표준 채택을 앞두고 있다고 12일 밝혔다.

　진공기술은 반도체·디스플레이장비 분야의 핵심 기술 가운데 하나로 반도체의 오염입자를 제거하는 데 필수적이며 박막기술을 입히는 공정에도 두루 활용되고 있다.

　김익수 기표원 기계건설표준팀장은 “우리나라가 반도체·디스플레이 분야에서 세계 최고의 생산국이면서도 기초기술이 부족해 관련 장비 다수를 수입해 왔다”며 “국내 진공기술이 국제 표준으로 확정되면 진공가스 누출 시험을 국내 기술로 받게 돼 수출에 유리할 뿐 아니라 미국·독일 등에서 전량 수입에 의존하던 이온게이지의 국산화도 앞당길 수 있는 계기가 마련될 것으로 기대했다.

　김승규기자@전자신문, seung@