국내中企 장비·재료 32개 아이템, 9월 반도체 3사 공동 인증 획득

국내 중소기업이 개발한 반도체 장비·재료 등 32개 아이템이 9월에 삼성전자·하이닉스반도체·동부하이텍 등 국내 반도체 3사의 공동인증(기초인증)을 획득한다.

　이번에 인증받는 32개 아이템은 기본적으로 규격과 성능이 국내 반도체 3사의 요구 수준을 모두 만족한다는 것을 의미하는 것이어서 이들 아이템의 실제 상용화와 교차공급 여부에 관심이 모아지고 있다.

　25일 관련업계에 따르면 정부와 국내 반도체 3사가 공동으로 진행하고 있는 ‘반도체 장비·재료 성능평가사업’의 최초 결과물로 오는 9월 32개 장비·재료가 성능평가를 마치고 3사 공동 기초인증을 획득할 전망이다.

　지난해부터 진행된 1차 평가사업에서 검증된 반도체 장비·재료는 하이닉스반도체 팹을 통한 15건, 삼성전자 팹을 통한 12건, 동부하이텍을 통한 5건으로 총 32개다. 1차 평가에 참여한 장비·재료와 관련해서는 대외적으로 공개되지 않으나, 장비가 70%, 재료가 30% 정도인 것으로 확인됐다.

　이들 32개 장비·재료는 9월 공동 기초 인증이 마무리되는대로, 연말까지 상용화를 위한 성능평가인 ‘양산 인증’ 절차를 밟게 된다. 양산 인증은 기초 인증 결과를 토대로 삼성전자·하이닉스반도체·동부하이텍 등 3사가 각각 원하는 장비·재료를 선별해 진행하며 2개 이상의 반도체업체로부터 복수로 선택될 가능성도 있다.

　성능평가사업을 주관하고 있는 반도체산업협회 안기현팀장은 “기초인증을 받은 32개 아이템은 기본적인 규격과 성능에서 합격점을 얻은 것으로 2단계로 국내 반도체 3사 가운데 한두 곳의 실제 양산팹에 적용돼 납품 가능성을 검증하는 ‘양산 평가’를 받게 된다”고 말했다. 또 “양산 평가를 통과하는 것과 구매 확약은 별개지만, 국내 반도체 3사는 물론 해외 반도체업체에도 납품할 수 있는 성능이라는 것을 객관적으로 인정받는 것이어서 국내외 판로 확대라는 측면에서 관련업체들의 기대가 크다”고 덧붙였다.

　 심규호기자@전자신문, khsim@