관련 통계자료 다운로드 소디프신소재 3대 특수가스 생산규모 소디프신소재(대표 하영환·조백인 www.sodiff.co.kr)는 최근 국내기업으로는 처음으로 반도체 산화막 재료로 사용되는 모노실란(SiH4)을 양산, 시장공급에 나섰다고 22일 밝혔다.
모노실란은 트랜지스터를 만들기 위해 반도체 웨이퍼 위에 산화막을 형성하는데 쓰이는 특수 가스로 그동안 전량 수입에 의존해왔다.
소디프신소재는 SiH4를 신성장 사업으로 육성한다는 전략아래 시장추이에 따라 현재 연간 300톤 규모인 생산능력을 향후 1000톤 규모로까지 확대한다는 계획이다.
또 상반기 내에 육불화텅스텐(WF6) 증설작업까지 마무리할 예정이다.
삼불화질소(NF3) 생산량에서 세계 2위를 기록하고 있는 소디프신소재는 모노실란 생산으로 반도체·LCD 공정용 3대 특수가스 생산 체제를 구축했다.
이정환기자@전자신문, victolee@
