발광다이오드(LED) 웨이퍼 및 칩 전문업체인 에피밸리(대표 박두진 www.epivalley.com)는 세계 최대 생산효율을 갖춘 유기금속화학기상증착기(MOCVD)를 이용해 고휘도 청색 LED용 에피웨이퍼 양산에 세계 최초로 성공하였다고 26일 밝혔다.
LED업계는 생산성 제고를 위해 지난해 중반부터 차세대 MOCVD를 속속 도입중이지만 공정 조건 등이 까다로워 아직까지 차세대 장비를 이용한 LED 양산은 이루어지지 않고 있다. 이 회사는 한 번에 2인치 사파이어 웨이퍼를 30장씩 성장할 수 있는 영국 토마스스완사의 IC 30×2인치 CCS MOCVD 시스템을 지난해 연말 도입하고 세계 최고 수준의 공정 기술을 바탕으로 2개월만에 양산에 성공했다. 기존 MOCVD 장비는 한번에 18∼24장의 2인치 사파이어기판을 성장시키는 데 그친다. 에피밸리는 이번 장비를 활용해 휴대폰 사이드뷰용 LED를 양산할 계획이다. 2인치 에피웨이퍼 1장에서는 대략 1만2000개의 LED 칩을 생산할 수 있다.
박두진 사장은 “이번 장비를 가동하게 되면서 높은 생산성과, 더욱 안정된 품질로 경쟁성 제고에 큰 효과를 가져올 것”이라며 “향후 대규모 수요가 예상되는 LED BLU 및 LED 조명시장에 효과적인 대응이 가능하게 되었다”고 밝혔다.
에피밸리는 R&D 장비를 포함, 국내 최대규모인 12대의 MOCVD 장비를 보유하고 있으며 이번에 구축이 완료되어 총 13대로 늘어나게 된다. MOCVD장비는 LED의 기초소재인 사파이어기판에 여러 가지 화학 물질을 증착시키는 장비로 LED 제조의 핵심장비다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@
