[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-APTC

APTC(대표 김남헌 http://www.iaptc.com)는 플라즈마를 응용한 반도체 공정 장비 전문업체로 국내 반도체 장비 시장의 한계를 극복하고 세계적 기업으로 발돋움하고 있다.

APTC는 2002년 설립돼 60명의 인원 가운데 40명이 국내외 반도체 장비·소자 관련업체 출신 엔지니어로 구성됐다. 설립 2년 만인 2004년 24억원의 매출을 시작으로 작년 120억원의 매출을 올렸으며 올해 520억원 매출을 목표로 하고 있다.

이 회사는 플라즈마 기술을 바탕으로 미국의 어플라이드머터리얼스와 LAM, 일본 텔 등 소수 업체가 90% 이상을 장악하고 있는 건식 식각장비 시장에 진출, 파란을 예고하고 있다. 식각 장비는 국내시장 규모만 수조원대로 추정되는 핵심장비지만 대부분 수입에 의존해 왔다.

APTC는 현재 200㎜ 라인용 식각 시스템과 체임버를 판매하고 있으며 하이닉스와 300㎜ 공정 장비의 공동 개발을 진행중이다. 이 장비는 반도체 기판에 필요 소자를 배치하는 가공을 할 때 필요 없는 부분을 플라즈마를 통해 식각시켜 제거하는 역할을 한다. 식각 속도와 회로 선폭의 균일도가 기존 제품보다 높고 전력 소모도 적어 원가를 낮출 수 있는 것이 장점이다.

이 회사는 옥사이드와 메탈·폴리 등 다양한 공정에 적합한 식각 시스템과 체임버를 모두 생산해 온 기술력를 바탕으로 해외 업체들이 높은 진입 장벽이 치고 있는 건식 식각 장비 분야에 성공적으로 진입했다. 지난 5월에는 중국 상하이 홍차오 개발특구에 사무소를 개소하면서 해외 시장에도 첫발을 내딛게 되었다.

APTC는 정부의 300㎜ 반도체 나노공정 산화물 식각용 플라즈마 소스 개발 관련 부품소재기술개발 사업자로 선정돼 성공리에 연구를 마쳤으며 올해도 산업자원부 부품소재 기술개발 사업자로 선정되는 등 기술력을 인정받고 있다. 작년 산업자원부로부터 ‘대한민국 10대 신기술 및 차세대 세계일류상품’에 선정됐다.