[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-케이씨텍

　케이씨텍(대표 고석태·이순창 http://www.kctech.co.kr)은 국내 반도체 장비 산업을 이끌어온 국내 대표적 반도체 장비 제조 전문 기업이다.

　이 회사는 1993년 반도체 공정용 가스캐비닛을 생산, 본격적인 반도체 장비 제조업에 첫발을 내디뎠다. 이후 2001년 반도체 산업의 발전에 부응, 반도체 패턴 공정에서 발생되는 웨이퍼의 이물질을 제거하는 전공정 장비인 200㎜용 웨이퍼 세정기를 개발, 반도체 전공정 장비 업체로 본격 성장하게 된다. 이후 LCD 장비 진출에도 성공하며 국내 장비 업체 중 선도기업으로 성장했다.

　2005년에는 신성장 동력으로 평가받는 300㎜ 웨이퍼 세정기를 개발, 올해 본격적인 매출이 발생할 전망이다. 300㎜용 반도체 시장은 초기 투자단계로 향후 소자 업체들의 대규모 설비 투자가 예상되며 특히 300㎜ 세정기는 일본 업체들이 독점하던 상황이라 케이씨텍의 시장 확대가 예상된다.

　이와 함께 케이씨텍은 나노급 공정 기술 확보를 위해 전체 인원의 20%를 상회하는 연구인력을 보유하고 있으며 매년 매출의 7∼8%에 가까운 연구개발비를 투자하고 있다. 케이씨텍은 현재 나노급 차세대 장비로 저온 증착 장비인 HNB(Hyper Thermal Neutral Beam)를 개발중이다.

　또 소재분야로도 진출, 반도체 제조공정 중 웨이퍼의 화학적·기계적 평탄화 재료인 CMP슬러리 개발을 완료하고 고객사 품질 평가중이다. 케이씨텍의 슬러리는 연마 속도와 연마 선택도, 평탄도 등의 연마 효율을 향상시켜 업계의 주목을 받고 있는 제품으로 현재 전량 수입에 의존하고 있는 국내 시장에서 수입 대체 효과가 기대된다.

　또 케이씨텍은 반도체 분야의 관계사를 바탕으로 시너지 효과를 거두고 있다. 고순도 흑연제품 및 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 등의 반도체 재료를 생산하는 티씨케이는 국내 대표적인 알짜 반도체 재료 업체로 성장하고 있다. 반도체·LCD 공정용 가스스크러버 등을 공급하는 케이피씨는 올해 신규사업 진출을 위해 일본 쇼와철공사와 기술 제휴를 맺어 외형 신장에 주력할 예정이다. 반도체·바이오 등 첨단 산업 분야의 유틸리티와 클린룸을 설계·시공하는 디오이와 일본 가시야마사와 합작 설립한 진공펌프 업체 케이케이테크 등의 관계사들은 케이씨텍과 함께 국내 반도체 산업을 이끌어 나갈 주역으로 주목받고 있다.