[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-세메스

세메스(대표 이승환 http://www.semes.co.kr)는 스핀코터와 현상기 등의 트랙장비, 웻스테이션, 매엽식(SWP) 세정장비 등 반도체·LCD용 핵심 전공정 장비를 생산하는 선도적 장비 업체다. 이 회사의 트랙장비인 나노스핀은 포토 공정에서 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광 후 형성된 패턴을 현상하는 설비다.

　SWP 세정장비는 웨이퍼 표면에 형성된 미세회로 패턴을 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분을 화학약품 또는 가스로 제거하는 장비로 식각 및 세정, 연마 등 주요 반도체 공정에 두루 쓰인다. SWP 장비의 개발로 매년 500억원 이상의 수입 대체 효과가 있을 것으로 회사 측은 기대하고 있다.

　세메스는 국내 선도 장비업체의 위치에 만족하지 않고 전공정 핵심장비 개발 및 양산으로 매년 100% 이상 성장, 2010년 연매출 1조원의 글로벌 기업으로 거듭난다는 계획이다.

　국내업체 가운데 가장 먼저 300㎜ 반도체 장비를 개발한 데 이어 향후 나노공정용 불화아르곤(ArF) 트랙장비, 8세대 LCD장비 등의 양산을 통해 한발 앞서 시장을 선도한다는 것. 현재 외산 대비 경쟁력을 확보하고 있는 반도체 현상장비인 트랙과 세정장비를 세계 일류 브랜드로 키워나가는 한편 드라이에처나 화학기상증착기(CVD) 등의 핵심 장비도 자체 개발, 종합 장비업체로 탈바꿈할 계획이다.

　또 장비 개발에 선택과 집중의 원리를 도입, 평균 수준의 장비 여러 개보다 소수의 세계 최고 수준 장비를 개발해 세계로 진출하는 한편 단품 위주의 사업을 피하고 인라인화된 제품을 공급해 고객사에 시스템 솔루션을 제공한다는 전략이다. 동종업계 협력회사들이 뭉쳐서 국제경쟁이 가능한 규모를 키우는 클러스터화 전략도 적극 추진한다.

　이를 위해 세메스는 매년 매출액 대비 10% 이상을 연구개발 예산으로 책정, 개발 제품별로 많게는 수십억원에서 100억원까지 연구개발비로 투자할 계획이다. 또 차세대 반도체용 소재로 주목받는 탄소나노튜브 발생장치 등 신시장 개척에도 나서고 있다.