[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-뉴파워프라즈마

　뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 플라즈마 기술을 기반으로 반도체 및 디스플레이 장비 분야에 도전하고 있다.

　플라즈마는 기체보다 입자가 안정된 상태에서 정밀 가공과 표면 처리가 가능하고 환경 오염이 없는 친환경 기술이다. 반도체와 LCD 장비 분야에서 플라즈마 기술의 도입이 활발하지만 국내 플라즈마 산업은 원천 기술 부족으로 아직 걸음마 단계다.

　뉴파워프라즈마는 지난 97년 반도체 웨이퍼와 LCD의 표면 가공, CVD·스퍼터링 공정 등에 필수적인 플라즈마 발생장치(RF제너레이터)의 국산화에 성공, 국내 플라즈마 산업의 첫걸음을 뗐다. 이후 매칭네트워크·플라즈마 클리너 등의 플라즈마 관련 장비를 잇달아 국산화했다.

　또 반도체·LCD 공정에 세정용으로 쓰이는 PFC 계열의 유해 잔류 가스를 플라즈마로 세정하는 리모트 플라즈마 제너레이터와 유해 가스를 분해하는 드라이스크러버 등 친환경 제품도 내놓았다.

　자체 개발한 코어 ICP를 채택, 플라즈마 발생 효율을 높였으며 리모트 플라즈마 제너레이터 제품을 중심으로 세계 시장에서 미국 어드밴스트에너지·MKS 등의 선발 업체들과 경쟁하고 있다. 매출도 매년 2배씩 급성장하고 있다.

　최근에는 플라즈마 기술을 이용한 반도체 장비 분야에도 발을 들였다. 300㎜ 반도체 전공정에서 사용된 감광액을 제거하는 건식 애셔 장비를 개발, 본격 판매에 들어갔으며 300㎜ 반도체 식각 장비용 플라즈마 기술도 개발했다.

　또 2000㎜ 폭의 대면적에서도 플라즈마의 밀도와 균일도를 확보할 수 있는 플라즈마 소스를 개발, 7세대 이상 대형 LCD 공정용 세정 장비 등에 ICP 플라즈마 소스를 적용할 수 있게 될 전망이다.

　뉴파워프라즈마는 아직은 직원이 90여명인 작은 회사지만 2000년 이후 매년 2배 이상의 매출성장을 이루고 있다.

　최대규 뉴파워프라즈마 사장은 “정밀 가공이 가능하고 친환경적인 플라즈마 기술은 향후 산업 공정의 핵심이 될 것”이라며 “외산에 주로 의지하는 반도체 전공정 장비의 국내 경쟁력 강화에 일조하고 싶다”고 의지를 밝혔다.