[IT키워드]포토마스크

　포토마스크란 석영 기판 위에 반도체나 LCD의 미세 회로를 형상화한 것으로 노광 시스템을 이용해 회로를 웨이퍼나 유리 기판에 새기는 사진 원판 필름에 해당한다.

　반도체나 LCD 기판의 회로를 실제 크기의 1∼5배로 석영 기판 위에 식각해 놓은 것이다. 감광액을 입힌 웨이퍼나 유리 기판 위에 패턴이 새겨진 포토마스크를 대고 노광 장비를 통해 빛을 쪼이면 빛이 통과해 닿은 부분만 화학 반응을 일으켜 회로를 형성할 수 있게 된다. 노광 공정은 기본적으로 사진을 인화하는 과정과 같다.

　석영 기판에 크로뮴 등으로 막을 입힌 블랭크 마스크에 레이저나 식각 기술을 이용해 설계된 회로를 형성한다. 반도체용 포토마스크는 고집적화에 대응할 수 있는 미세선폭 구현이 과제이며 LCD용 제품은 넓은 면적의 포토마스크에 균일도를 일정하게 유지하는 것이 중요하다.

　국내에선 피케이엘·토판포토마스크·LG마이크론 등이 생산하고 있다.