반도체 후공정 장비업체인 미래산업(대표 권순도 http://www.mirae.com)은 세계 최초로 512개의 반도체를 동시에 검사할 수 있는 메모리 테스트 핸들러(모델명 eXtreme M480·사진) 개발에 성공했다고 5일 밝혔다.
메모리 테스트 핸들러는 반도체 제조 후공정에서 패키징을 마친 메모리 칩들을 전기적인 특성검사를 통해 양질의 제품과 불량품으로 가려내는 장비다.
현재 개발된 장비의 최대 병렬 검사 칩 수는 테크윙이 개발한 480개 패러럴로, 국내 장비업체들이 고성능화를 주도하고 있다.
이번 미래산업에서 발표한 ‘eXtreme M480’은 512개의 반도체 소자를 동시에 검사하는 고성능 장비로 기존 장비 대비 생산성이 170% 이상 향상됐다. 반도체 검사공정 처리속도를 단축시킴으로써 제품의 생산성 및 효율성을 극대화시킨 최적의 제품이다.
이 장비는 D램과 플래시메모리 시장을 주요 타깃으로 하고 있고, 다양한 종류의 테스터와 상호 호환성이 뛰어나 낸드 및 노어플래시 메모리 반도체 뿐만 아니라 플래시메모리카드를 대량 생산하는 업체의 생산성 향상에도 기여할 것이라고 회사측은 설명했다.
미래산업은 이 장비를 독일 뮌헨에서 개최되고 있는 반도체 장비 전시회 ‘세미콘 유럽 2006 전시회’를 통해 최초로 공개했다.
심규호기자@전자신문, khsim@
