LCD 핵심장비 `노광기` 국산화 총력

　전량 수입에 의존해오던 LCD 핵심 장비인 노광기의 국산화가 추진된다.

　나노산업기술연구조합(이사장 이희국)은 7일 서울교육문화회관에서 열린 정기총회에서 올해 ‘대면적 고해상도 노광기 개발을 위한 나노급 요소기술개발’을 신규 정부 R&D 사업으로 추진한다고 밝혔다. 이에 따라 그간 캐논·니콘 등 일본 업체에서 전량 수입해오던 노광장비의 국산화가 가능해질 전망이다.

　노광기는 반도체나 TFT LCD 공정에서 포토마스크에 빛을 쪼여 웨이퍼나 LCD 기판에 회로를 형성하는 장비로 국내 생산이 전혀 안 되는 제품이다.

　나노조합은 신사업을 통해 노광기의 핵심 기술인 △노광기용 나노 스테이지(stage) 설계 및 제작, 제어 기술 △광학계 설계 및 제작 기술 △노광기용 핸들러 시스템 설계 및 제작 기술 등을 개발할 계획이다.

　산업자원부 중기거점사업의 일환인 이 사업에는 연간 20억원씩 5년간 100억원이 투입된다. 처음 3년 동안 1.5㎛ 선폭의 회로를 구현할 수 있는 4세대 노광장비 기술을 개발하고 후반 2년에 1㎛ 선폭의 5세대 장비 기술을 개발하게 된다. 이를 위해 나노조합은 요소 기술 개발 능력을 가진 장비업체 및 연구소 등과 협력할 방침이다.

　나노조합은 3월까지 기획보고서를 산업기술평가원에 제출, 6월에 승인을 받은 후 7월에 개발 사업을 시작하게 된다.

　한편 나노조합은 국내 나노 기술의 표준화를 추진하고 국제 표준에 반영하기 위해 규격화 및 국제 활동지원 등 ‘나노기술 표준화 기반구축사업’도 올해 신규 사업으로 추진한다. 나노팹 등 나노 분야 인프라의 효율적 연계 및 운영 활성화 방안 연구 등의 정책 과제도 수행하게 된다. 한세희기자@전자신문, hahn@