유비프리시젼(대표 김정곤 http://www.ubprecision.com)은 LCD 검사장비에 사용되는 소모성 부품 프로브유닛(Probe Unit)에 반도체 제조기술을 도입, 정밀성과 내구성을 높인 MGU(Mems Guide Unit·사진) 개발에 성공했다고 18일 밝혔다.
프로브유닛은 LCD 패널에 접촉시키는 방식으로 전기신호를 공급해 불량유무를 판단하는 장치이며 이번에 개발된 MGU는 MEMS가공기술을 적용, 기존 제품에 비해 정밀한 접촉이 가능하도록 했다. 또 기존 제품은 핀 형태의 프로브유닛을 접촉시키는데 반해 면 타입의 접촉으로 LCD 패널의 안정성을 유지하고 손상 마모를 최소화해 교체빈도를 80% 이상 감소시켰다고 회사측은 설명했다.
제작에 반도체 공정을 도입해 정밀도를 극대화했으며 핀 미스(Pin-miss) 방지를 위해 웨이퍼와 팁 사이의 공차를 0.002㎜로 최소화해 진동공간을 최소화했다고 덧붙였다.
김정곤 사장은 “차세대 신제품인 MGU로 안정적인 시장확보를 기대하고 있다”며 “MGU는 고부가가치 부품으로 자리매김하고 이를 기초로 핀 미스를 제로(zero)로 만들면차세대 무인자동 장비 개발 대응도 가능할 것”이라고 말했다.
김용석기자@전자신문, yskim@
