[나노코리아 2005]기술대상

◆나노산업기술상 산업자원부장관상

◇LG전자

　LG전자(대표 김쌍수)는 나노 크기의 팁을 이용해 정보를 기록하고 재생하는 탐침형 나노 정보 저장장치(probe based-nano data storage)의 기록·재생 헤드 및 미디어 개발에 관한 연구로 수상의 영예를 안았다.

　특히 가열된 팁으로 정보를 기록하고 압전센서를 이용해 재생하는 열-압전(thermo-piezoelectric) 기록·재생 방법을 세계 최초로 개발, 저전력화를 가능하게 한 점을 인정받았다.

　또 MEMS 기술로 제작된 탐침 헤드와 CMOS 회로를 집적화하는 새로운 SoC 기술을 개발, 탐침형 나노 정보 저장장치의 상용화를 위한 핵심 기술을 확보했다.

　탐침형 정보 저장장치는 휴대폰·PDA·디지털카메라 등의 휴대형 정보 저장장치에 사용할 수 있는 고용량·초소형 저장장치로, HDD나 플래시메모리에 비해 저장 밀도를 획기적으로 늘릴 수 있다.

　이 기술 개발이 완료되면 연간 수조원의 매출 달성은 물론이고 고속 원자현미경, 나노 리소그래피, 바이오 센서 등의 기술에 폭넓게 이용 가능해 산업 전체에 큰 파급 효과를 일으킬 것으로 기대된다.

◇석경에이티

　석경에이티(대표 임형섭)는 은 입자 크기가 4.7㎚에 불과한 세계 최소 입자의 실버 페이스트 및 졸을 개발한 공로로 산업자원부 장관상을 수상했다.

　이 기술은 에폭시 등의 유기 바인더나 프릿 등의 무기 바인더를 사용하지 않고 단순 열처리만으로 기존 바인더를 사용한 실버 페이스트 대비, 사용량을 5분의 1에서 10분의 1까지 줄일 수 있게 한 점이 특징이다.

　향후 이 기술은 900㎒ 대역의 RFID 및 스마트 카드, 연성회로기판(FPCB) 배선용으로 확대 적용할 수 있어 산업 전체에 파급이 클 것으로 기대된다.

　이 제품을 활용하면 기존의 연성동박적층필름(FCCL)을 사용한 연성회로기판과 같이 여러 단계의 공정을 거치지 않고 필름 위에 실크스크린이나 잉크젯 방식으로 곧바로 인쇄가 가능하다. 기존 공정에서 필요한 재료·소재를 사용하지 않아 기존 가격 대비 50% 이하로 제조가 가능하며 환경 문제가 없는 것이 특징이다.

　특히 석경에이티는 이 기술에 대한 원천특허 및 제품 응용 기술을 확보, 기술 및 시장 지배력을 극대화할 수 있을 것으로 기대된다.

◇NND

　NND(대표 배종서)는 차세대 리소그래피 기술로 각광받고 있는 나노임프린트 리소그래피(NIL:Nano Imprint Lithography) 장비를 국내 최초로 개발한 공로로 산업자원부 장관상 수상의 영예를 안았다.

　이 회사의 나노임프린트 장비 개발로 관련 기술의 응용과 이를 양산 기술에 적용하기 위한 연구가 가능해졌다.

　이 회사의 나노임프린트 장비는 30㎚ 이하의 선폭을 갖는 패터닝을 실현했으며 후공정 에칭 시간을 대폭 줄일 수 있는 잔류층(Residual Layer)을 최소화하는 기술을 개발, 외국산 장비에 뒤지지 않는 경쟁력을 확보했다.

　또 최초 모델인 ‘NANOSIS 610’보다 공정 시간을 줄이고 보다 손쉽게 패터닝을 할 수 있는 ‘NANOSIS 620’을 발표, 국내 NIL 장비 수요에 대처하고 있다. 이 장비는 압력 용기를 사용한 정가압 방식을 채택, 임프린팅 후 수지 잔류층 두께를 대면적 기판 전체에 대해 일정하게 최소화함으로써 이후 공정에서 최적의 패턴을 얻을 수 있다.

　또 이 기술을 반도체·디스플레이 생산의 실제 공정에 적용하기 위한 기술도 기업 및 연구소와 공동 개발중이다.

◆과기부장관상

-조영호 한국과학기술원 교수

　조영호 한국과학기술원 교수는 디지털 나노구동기 및 나노 바이오소자 분야 전문가다.

　생명체 운동기관의 나노구조와 동작원리를 공학적으로 변형 모사해 기존 나노구동기의 잡음·가공공정 오차·소재물성 불확정성 등에 관한 기술적 한계를 극복하고 12㎚급의 세계 최고 수준의 고정도 생체모사 디지털 나노구동기 개발에 성공한 공로를 인정받았다.

　생체모사 기법을 적용해 세포·DNA·단백질 등 극미세 바이오물질을 효과적으로 분리·분석할 수 있는 바이오물질 계수기, 농도측정기, 물성 분석기 등 신개념 나노바이오 물질 처리 및 분석소자에서도 탁월한 성과를 거두었다.

　또 바이오·IT·나노 융합 분야의 학제적 인력 양성, 관련 국내외 학회 및 학술 활동을 통하여 국내 나노기술의 발전과 국제적 인지도 향상에 공헌해 왔다.

◆조직위원장상

◇산업기술부문-LG화학

　LG화학(대표 노기호)은 나노 입자 위에 고분자 물질을 효과적으로 적층시키는 기술과 표면 전하량을 조절하는 기술을 개발, 접합 강도가 획기적으로 향상된 코팅 재료를 상용화했다.

　이 재료는 고급 인쇄 용지에 고속 코팅과 선명한 고속 인쇄를 가능하게 한다. 또 FDA 승인을 획득한 친환경 소재로서 환경친화적 고성능 소재 분야로 용도가 확대되고 있다. 정보전자 소재 분야의 고기능 접합재와 코팅 재료로도 활용이 가능, 다양한 분야에 솔루션을 제공한다.

　나노 입자의 캡슐화 및 표면 전하 조절 기술로 환경 및 정보전자 소재 코팅 특성의 획기적 향상이 기대된다.

◇산업기술부문-비타코스

　비타코스(대표 김영대)는 세계 최초로 상압에서 경제적으로 크림상 나노에멀션을 제조하는 기술을 개발했다.

　이에 따라 입자 평균 크기 50㎚의 나노에멀션 크림화장품을 제조할 수 있게 됐다. 기존의 고압 호모지나이저를 사용한 나노에멀션 제조기술은 고가의 기계로 500∼1600기압의 고압에서 작은 노즐을 통해 제조하므로 생산성이 낮고 고온으로 인한 활성성분의 변질 문제가 있었다. O/W 나노에멀션의 경우 오일상의 함량이 20% 이상인 고효능 크림상 제품을 제조할 수 없었으나 이 기술은 내상 유상이 80%까지는 오히려 많을수록 더 잘 만들어진다.

◇연구혁신부문-한창수 한국기계연구원 책임연구원

　한창수 책임연구원은 탄소나노튜브를 이용한 SPM용 탄소나노튜브 팁 및 가스센서 등 나노 소자의 연구개발 및 국내외 학회, 학술활동을 통해 국내 나노기술의 발전과 국제적 인지도 향상에 기여한 공로를 인정받았다.

　일반적인 Si 팁으로 측정이 어려운 고분해능이나 깊은 협곡 구조 측정을 위해 Si 팁의 끝단에 가늘고 긴 바늘 형태의 탄소나노튜브를 부착하는 기술을 개발, 연구현장에서 저가로 고품질의 AFM용 팁을 이용해 연구를 수행할 수 있는 길을 열었다. 또 MEMS 기술로 제작된 전극에 탄소나노튜브를 부착하는 방식의 유해가스 검출 센서를 개발중이다.

◇연구혁신부문-강성구

　강성구씨는 나노입자의 제조와 활용에 대한 창의적 연구 및 나노입자와 AFM을 이용한 나노 와이어 제작에 대한 연구 성과를 인정받아 수상하게 됐다. 막대 모양 나노와이어의 제작 수율 향상, 연료전지용 아령 형태 금·백금 나노 입자의 제조, 기판 위에서의 직접 성장을 이용한 나노 와이어 개발 등의 연구를 수행하고 있다.

　현재 서울대학교 화학생물공학부 석박통합과정에 재학중이다.

◆특별상

◇전자신문사장상-양근석 주한 펜실베이니아 주정부 사무소장

　양근석 주한 펜실베이니아 주정부 사무소장은 한국 IT, 바이오, 나노 관련 중소 벤처기업들의 미국 시장 진출을 지원한 공로를 인정받아 특별상을 수상했다. 양 소장은 한국 기업들의 미국 현지 투자 컨설팅 및 파트너 알선, 기술 이전에 대한 기술적 협조 및 자문 업무를 통해 해외 진출을 추진하는 한국 벤처 기업들을 도와 주고 있다.

　또 펜실베이니아의 주요 나노 업체에 한국 시장을 적극 홍보하는 등 한국과 미국 나노 업체 간 가교 역할을 해 온 점이 높이 평가됐다.

　양 소장은 미국 위스콘신 주정부사무소 업무 지원을 시작으로 1995년 코리아 비즈니스서비스를 설립, 사무소 업무를 지원하다 1998년부터 펜실베이니아 주정부 한국사무소 대표를 지내고 있다. 미국 중서부농업무역위원회 한국 대표이기도 하다.

◇공로상-류병일 삼성전자 부사장, 이해원 한양대 교수

　류병일 삼성전자 부사장과 이해원 한양대 교수는 지난해 나노코리아2004의 전시위원장과 심포지엄위원장으로서 성공적으로 행사를 이끌어 올해 공로상을 수상했다.

　류 부사장은 삼성전자 메모리사업부 반도체연구소장 겸 최고기술책임자(CTO)다. 삼성전자 D램 제품팀장 상무이사와 메모리사업부 기술센터장을 지냈으며 현재 과학기술부 나노산업연구조합 나노전자분과위원회 위원장이다.

　이 교수는 한양대 NT 사업단장이며 유기박막재료연구실을 이끌고 있는 나노 학계의 선도적 연구자다. 그는 원자현미경을 이용해 미세한 나노 탐침으로 반도체 패턴을 직접 형성시키는 연구를 진행하고 있다. 또 기판 위에 유기 박막을 입혀 가공 속도를 높이는 방법도 연구중이다.

한세희기자@전자신문, hahn@