[IT키워드]저온폴리(LTPS)

　‘저온폴리(LTPS:Low Temperature Poly Silicon)’는 TFT 제품 종류 중 하나다. 대형 제품에 대부분 사용되는 비정질 실리콘(A-Si) 기판에 레이저 등을 주사함으로써 물질 특성을 바꾼 것이다. 석영을 기판으로 사용하고 1000℃에 가까운 고열을 가하는 고온폴리(HTPS)와 구분하기 위해 저온폴리라는 이름을 붙였지만 역시 600℃ 가까운 고열을 통해 만들어진다.

　저온폴리의 가장 큰 특성은 기판 내 전자 이동도가 높다는 점이다. 이러한 특성으로 LCD 기판에 직접 IC회로를 집적할 수 있어 LCD에 회로까지 모두 내장하는 ‘SOG(System On Glass)’ 기술에 가장 적합하다는 평가를 받기도 한다.

　한편 A-Si에 비해 별도의 고열 처리 기술을 적용해야 하는 데다 마스크 공정수가 많아 기판 원가가 높다는 게 단점이다. 그러나 소형 제품에서는 가장 큰 원가를 차지하는 드라이브 IC를 직접 내장할 수 있다는 장점 때문에 일본 기업들은 대부분 저온폴리 기술을 사용한다. 또 능동형 OLED를 생산하기 위한 기판으로 쓰이기도 한다.