세계 첫 적외선검출방식 반도체·PCB회로 검사장비 개발

　적외선 검출방식의 반도체·디스플레이·PCB 검사장비를 국내 벤처기업이 세계 최초로 개발했다.

　메디코아(대표 조영신 http://www.medi-core.co.kr)는 회로를 포함하는 부품의 방출에너지를 적외선 카메라로 측정, 회로·보드의 기능상태와 작동을 실시간으로 측정하는 장비를 개발했다고 9일 밝혔다.

　적외선을 이용하는 반도체·PCB·디스플레이 검사장비의 개발은 이번이 처음으로, 회로의 불량 유무를 가리는 1차 검증장비로 널리 활용될 전망이다.

　특히 반도체의 경우 나노급 회로까지 측정할 수 있는 기술적 검증을 완료, 회로부품의 경박단소화에 적극 대응할 수 있다고 회사 측은 밝혔다.

　이들 장비는 실시간 적외선 에너지 분포 진단 기술을 활용한 것으로, 0.05도 단위까지의 온도 변화를 표시할 수 있다. 특히 비접촉 빔 프로빙 기술을 적용하고 있어 시험시 보드에 물리적인 영향을 주지 않는다. 검사대상부품의 실제 작동 상태에서 방출되는 적외선 특성을 표준 작동 데이터 특성과 비교 분석함으로써, 불량이 발생하는 부분과 불량 요인을 분석하게 된다.

　이 회사는 디스플레이용 적외선 검사장비를 개발해 삼성전자 영상디스플레이사업부에 납품을 앞두고 있으며, 일본 히타치제작소에서도 산업전자용 PCB 검사장비를 현지 대리점을 통해 수주한 상태다.

　이경호 메디코아 ITS사업부 이사는 “미세회로 검사에 적외선 방식을 상용 도입한 것은 메디코아가 처음이며 국내는 물론이고 일본 산업전자업체들로부터 문의가 잇따르고 있다”면서 “PCB보드 및 디스플레이 검사용 장비를 시작으로 반도체 검사장비도 상용화하는 한편 세계 표준화단체를 통한 국제표준화도 추진할 것”이라고 밝혔다.

심규호기자@전자신문, khsim@