반도체 및 LCD 재료·장비업체인 에프에스티(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)는 이번 IMID에 대형 LCD용 펠리클(850×1200:6세대, 1220×1400:7세대)을 출품하고 칠러 등의 장비를 소개한다.
펠리클(pellicle)이란 반도체, LCD의 사진식각 공정에서 마스크(mask)와 레티클(reticle:실리콘웨이퍼에 LSI회로패턴을 정착시키기 위해 쓰는 원판) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염물질로부터 보호해 주는 박막을 말한다.
펠리클은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 포토마스크나 레티클 위에 부착되어, 마스크와 레티클을 공정에 사용하는 중 이물질의 발생 및 부착을 막아 웨이퍼상 패턴 형상화에 영향을 주지 않도록 하는 부품이다.
즉 펠리클의 사용으로 반도체 및 LCD제품 수율이 향상되고, 포토마스크 수명이 연장되는 효과를 볼 수 있는 것이다.
이번에 전시되는 TFT-LCD 대형 펠리클은 일본 아사히카사이가 전세계에서 독점하던 제품으로, 지난 2004년 에프에스티가 국내 최초 국산화에 성공했다. 높은 기술적 진입 장벽을 뚫고 3년여의 연구 끝에 개발되어 180억원의 수입대체 효과를 거두고 있다.
1987년 설립된 에프에스티는 반도체장비 및 종합부품업체로 펠리클(포토마스트용 보호막), 칠러(온도조절장치), IPA 드라이어(반도체 세정장비) 등을 주력 사업으로 하고 있다. 지속적인 R&D 투자로 반도체·LCD용 펠리클과 칠러의 독자적 개발에 성공했다.
반도체용으로 사용되는 포토마스크 검사장비와 LCD 컬러필터 검사장비 전문 기업인 라세텍의 검사 장비 판매도 대행하고 있다.
