삼성 세계 첫 반도체 팹 데이터 종합관리시스템 구축

　삼성전자가 세계 최초로 반도체 팹에 데이터 종합관리시스템을 구축, 반도체 수율 향상을 꾀한다.

　30일 관련업계에 따르면 삼성전자(대표 윤종용)는 반도체 생산설비에서 나오는 데이터를 수집해 분석 가공해 병목 또는 오류가 있는 곳을 찾아내 수정하는 ‘툴 데이터 모델링 프로젝트(가칭)’를 추진하고 있는 것으로 알려졌다.

　삼성전자는 우선 300㎜웨이퍼 전용 D램·낸드플래시 혼용라인인 12라인에 이 시스템을 구축하고, 점차 타 라인으로 확대해 나간다는 계획이다.

　‘툴 데이터 모델링 프로젝트’는 웨이퍼 가공 툴(각종 장비 및 설비)의 위치·세팅정보·파라미터(변수)정보 등의 종합적인 데이터를 분석하고 백업시스템을 구축, 궁극적으로 반도체 수율 향상을 통해 수익성을 극대화하는 것이다.

　이 프로젝트가 성공적으로 마무리되면 기존에 알 수 없었던 불량 요인에 대한 사전 감지가 가능해져 생산성을 극대화할 수 있을 뿐 아니라, 초일류 반도체 팹 운용체계 확보를 통한 이미지 제고에도 한 몫 할 것으로 기대된다.

　반도체 생산라인은 구조가 복잡하고 생성 데이터도 월 2.5TB 이상으로 방대해 데이터의 종합적 관리시스템이 도입된 팹은 전세계적으로 전무하다.

　삼성전자는 프로젝트의 본격 추진에 앞서 실시하는 ‘논리 모델 프로젝트(2004년 10월 ∼ 2005년 3월)’는 마무리한 상태지만, 향후 일정은 알려지지 않고 있다. 논리 모델 프로젝트는 약 5개의 설비 및 장비에서 수행한 것으로 전해졌다.

　소프트웨어업계 한 CEO는 “이 작업은 광대한 원시 데이터를 분석해야 하는 매우 복잡한 프로젝트지만 장기적으로 삼성전자 팹의 경쟁력 제고에 큰 도움이 될 것”이라며 “정확한 분석은 어렵지만 삼성전자가 모든 팹에 이 데이터 종합관리시스템을 도입할 경우, 2∼3년 운영으로 새로운 팹 1개를 신설하는 정도의 효과가 기대된다”고 말했다.

심규호기자@전자신문, khsim@

사진: 삼성전자가 반도체 수율 향상을 위해 데이터 종합관리시스템 구축을 추진한다. 사진은 삼성전자 연구원이 반도체 생산라인에서 생산제품을 살펴보는 모습.