주성엔지니어링, 특허기술상 충무공상 수상

　LCD 및 반도체 전공정 장치 전문업체 주성엔지니어링(대표이사 황철주)은 특허청이 주최한 특허기술상 본심사에서 충무공상을 수상했다고 20일 밝혔다.

주성이 이번에 수상한 특허기술은 주성의 차세대 장치인 원자층증착장치(ALD)의 박막형성방법에 관한 것으로 고순도의 박막 형성을 가능하게 하면서 생산성의 비약적인 향상으로 경쟁력을 크게 강화한 기술이다.

심규호기자@전자신문, khsim@