광주시와 전북도, NT사업 본격화

　광주시와 전북도의 반도체 및 디스플레이 분야의 나노 공정 장비구축 사업이 다음달부터 본격화된다.

　29일 관계기관에 따르면 지난 7월 나노기술(NT)집적센터구축 공동 사업자로 선정된 광주시와 전북도는 최근 공정 및 구축장비 분야에 대한 역할 분담을 마친데 이어 세부적인 사업계획을 수립해 다음달 초 산자부와 사업협약을 체결할 예정이다.

　두 지자체는 반도체 및 디스플레이 분야를 공동 추진하되 광주는 박막공정 및 확산공정, 전북은 패터닝공정 및 세정공정 중심으로 양산장비를 구축하기로 했다.

　광주시는 한국생산기술연구원(생기원) 광주지역본부를 주관 사업자로, 광주과학기술원·전남대·한국광기술원 등 38개 기관 및 업체를 참여 사업자로 선정해 올해부터 오는 2009년 7월까지 총 816억원을 투입해 시설 및 장비구축에 들어갈 예정이다.

　광주에는 유기증착기·플라즈마화학증착(PECVD)·유기금속화학기상성장(MOCVD) 등의 장를 비롯해 주사광학현미경(NSOM) 등 측정·분석 장비도 구축된다.

　전북도는 주관사업자인 전북대외에 43개 기관 및 업체가 참여한 가운데 2009년까지 총 776억원을 투입해 반도체 및 디스플레이 분야 패터닝 공정 및 세정공정 장비를 도입할 방침이다.

　이와 함께 광주는 오는 11월 광주첨단과학산업단지에 나노기술집적센터를, 전북도는 전주시 팔복동 첨단산업단지에 각각 나노기술집적센터를 건립할 계획이다.

　광주=김한식기자@전자신문, hskim@