주성, 세계 최대 CVD 장비 개발

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 현재 건설 중인 LCD 기판 중 최대 사이즈인 2100x2300mm급의 7세대까지 대응할 수 있는 플라즈마 화학증착장치(PE-CVD)를 개발 완료했다고 22일 밝혔다.

　이는 경쟁사인 AKT가 최근 발표한 1800x2200mm보다 더욱 커진 것으로 국내 LCD장비 업체가 해외 경쟁사와 같은 시기에 진일보한 차세대 제품을 출시했다는 점에서 국내 LCD 및 반도체 장비산업을 한 단계 끌어올리는 계기가 될 것으로 기대된다.

　이 제품은 수율 저하 요인으로 지적돼온 플라즈마 소스원인 샤워헤드(Showerhead)를 사용하지 않으면서도 플라즈마 막 균일도를 높일 수 있는 신기술이 적용돼 품질 향상은 물론 유지 비용을 대폭 줄일 수 있다. 또한 핀 위치 주변에 증착 불량을 유발하는 리프트 핀 방식을 사용하지 않았다는 것이 특징이다. 리프트 핀을 없앰으로써 그동안 핀 때문에 불가능했던 하나의 유리 원판에서 다양한 제품(15인치∼46인치)의 생산이 자유로와져 생산 효율을 획기적으로 개선할 수 있다고 주성 측은 설명했다.

　또한, 생산성 면에서도 기존의 설비 및 경쟁사 대비 약 2배가량 개선된 시간당 100장을 처리할 수 있는 능력을 보유, 적은 비용을 투입해 최대의 효과를 낼 수 있게 했다.

　주성의 한 관계자는 “이번 7세대용 장치 개발은 6세대 장치와 병행하여 진행되었으며 약 1000만달러의 개발비가 투입됐다”며 “기존 장비와는 크게 차별화돼 향후 7세대 LCD용 PE-CVD시장에서 70% 이상의 시장 점유율을 확보할 수 있을 것으로 기대된다”고 밝혔다.

　한편 주성이 개발한 2100x2300mm의 PE-CVD는 LG필립스LCD가 추진하고 있는 7세대 기판 사이즈와 거의 비슷하다는 점에서 LG필립스LCD에 납품될 가능성이 높은 것으로 분석된다.

　<유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr>