지니텍, 나노팹센터에 반도체 장비 공급

　대덕밸리의 한 벤처기업이 개발한 고가의 첨단 장비가 나노종합팹센터에 공급돼 나노 관련 연구개발에 활용된다.

　대덕밸리 반도체장비 전문 벤처기업 지니텍(대표 박인규 http://www.genitech.co.kr)은 나노종합팹센터에 ‘구리화학증착장비 및 시스템’을 공급하기로 했다고 25일 밝혔다.

　이 장비는 24억원에 달하는 장비로 차세대 나노기술 연구 개발의 핵심 장비로 평가받고 있다.

　지니텍은 지난 2001년 다국적 기업인 ASM과 기술 라이선스 계약을 체결한 후 구리 바닥채움 화학증착(Cu Superfill CVD)기술을 업그레이드시켜 이 장비를 개발했다.

　지니텍은 이번 장비 공급으로 대내외적으로 자체 기술에 대해 인정을 받게 됐으며 향후 나노 관련 장비시장을 선점할 수 있는 토대를 마련한 것으로 보고 있다.

　박인규 사장은 “벤처기업으로서 국가 개발사업인 나노종합팹센터에 장비를 공급할 수 있게 돼 기쁘다”며 “외국제품 일색인 나노 관련 장비시장에서 지니텍이 기술력을 인정받은 것”이라고 말했다.

　<대전=신선미기자 smshin@etnews.co.kr>