ADP, 5세대 LCD용 드라이에처 첫 국산화

　에이디피엔지니어링(대표 허광호 http://www.adpeng.com)은 5세대 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조용 드라이에처(dry etcher·사진)를 개발, 국내 LCD 소자업체 양산라인에 공급했다고 9일 밝혔다.

　5세대 이상 대면적 TFT LCD용 드라이에처가 국내 기술로 개발되기는 이번이 처음이다.

　이 회사는 현재 국내 LCD 소자업체 5세대 양산라인에 드라이에처 2대를 공급했으며, 최근 양산테스트를 끝내고 최종 사용승인을 받았다고 덧붙였다.

　이 회사는 이를 계기로 6세대용 데모장비를 개발하고 6세대 장비 수주활동에도 본격적으로 돌입했다.

　LCD용 드라이에처는 유리기판에 형성된 PR패턴에 따라 하부막을 식각하는 핵심 공정장비로 그동안 일본의 도쿄엘렉트론 등 해외업체들이 시장을 독점해왔다.

　특히 주성엔지니어링의 화학기상증착기(CVD)에 이어 드라이에처도 국산화됨에 따라 국내 LCD 장비업계는 노광 및 포토장비 등 일부 장비를 제외하고는 외산 장비업계와 본격적인 경쟁체제를 갖추게 됐다.

　이번에 개발한 드라이에처는 플라즈마 식각(PE:Plasma Etching)과 이온반응식각(RIE:Reactive Ion Etching) 방식이 함께 구현됐으며 일정한 가스 흐름을 유지하는 가스분사판 설계로 식각의 균일도를 높인 것이 특징이다.

　또한 대형 기판 반송시 발생하는 처짐현상을 방지하기 위한 고속반송시스템도 도입됐다.

　이 회사는 이와 관련, 10여건의 기술특허를 특허청에 출원한 상태다.

　허광호 사장은 “드라이에처 개발을 위해 20여명의 인력이 1년6개월간 투입됐으며 연구개발비도 100억원에 달한다”며 “이번에 개발된 장비는 해외 유수장비와 비교해 생산성이 거의 비슷하거나 앞서 앞으로 1000억원대의 수입대체 및 수출효과가 기대된다”고 말했다.

　한편 지난 2001년 설립된 에이디피엔지니어링은 드라이에처 이외에 액정합착기·검사장비 등 평판디스플레이(FPD) 제조용 장비개발에 주력, 올해 500억원 가량의 매출을 예상하고 있다.　

<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>