써모텍, 극한 연구용 분위기제어 전기로 개발

　써모텍(대표 김인태 http://www.thermotechno.com)은 반도체 화학기상증착(CVD) 공정 및 세라믹 재료 연구 등에 쓰이는 ‘분위기 제어 박스 전기로(box furnace for atmosphere contron)’를 개발했다고 최근 밝혔다.

　이 제품은 열분석 및 측정 장비로 주변 공기와 가스 상태를 조절하며 최고 800℃까지 순간 가열할 수 있고 자동 온도조절 장치가 있어 사용자가 용이하게 제품을 연구할 수 있는 것이 특징이다.

　김인태 사장은 “이 제품은 제한된 공간에서 500∼800℃의 순간이 가능하고 주변 환경을 연구자가 쉽게 제어할 수 있어 극한조건 연구에 적합하다”고 말했다.

　써모텍은 요업기술원과 공동으로 이 제품을 개발했으며 향후 전기로 외에도 진공로, CVD 주변기기 등 열과 관련된 다양한 장비를 출시할 계획이다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>