日 `나노大國`으로 간다

　나노 기술이 일본 전자업계 및 화학업계 연구개발(R&D) 활동의 화두로 떠오르고 있다.

　일본의 주요 기술 기업들이 최근 나노 기술에 힘을 모으고 있다고 닛케이산교신문이 30일 보도했다. 나노 기술 개발에 대한 정부의 재정 지원도 활발해 나노 기술은 당분간 일본 기업들의 중점 연구 대상이 될 것으로 전망된다.

　최근 3년간 가장 많은 나노 관련 특허를 취득한 기업들은 캐논, 후지 포토필름, 소니, 히타치 등인 것으로 닛케이산업소비연구소 조사 결과 드러났다.

　특히 전계발광디스플레이(FED), EL디스플레이 패널 등 차세대 디스플레이와 관련한 나노 기술 특허 취득이 활발히 이루어지고 있다. 캐논, 소니, 마쓰시타, 도시바, NEC 등 주요 정보기술(IT) 기업들은 전자 방출 제품용 탄소 나노 튜브 관련 특허들을 출원했다. 이들은 주로 FED를 사용한 평판TV의 상용화를 염두에 두고 있다. 소니의 경우 탄소 나노튜브를 연료전지에 적용하는 기술도 연구 중이다.

　반도체 장비 업체들도 차세대 반도체 개발을 위해 나노 기술을 연구하고 있다. 히타치, 캐논, 니콘 등의 장비 업체들은 극자외선, X선, 전자빔을 활용한 포토리소그래피 장비들에 관한 특허들을 출원했다.

　세이코인스트루먼트는 원자나 분자 수준에서 물질을 관찰할 수 있는 현미경 관련 특허를 신청했으며 세이코엡슨은 잉크넷 프린터에 나노 기술을 적용하는 연구를 수행 중이다. 미쓰비시화학과 도레이도 광학·자기 저장매체와 관련된 연구를 벌이고 있다.

　후지필름, JSR 등 반도체 재료 업체들은 길이 100나노미터 이하의 반도체 회로 개발을 위해 신재료를 개발 중이다.

　<한세희기자 hahn@etnews.co.kr>