국제엘렉트릭코리아, 삼성전자에 반도체 장비공급

　반도체장비업체 국제엘렉트릭코리아(대표 이길재 http://www.kekorea.co.kr)는 삼성전자에 30억원 규모의 반도체 제조용 전공정장비를 공급했다고 25일 밝혔다.

　공급장비는 삼성전자와 공동개발프로젝트(JDP) 형식으로 개발한 원자층증착(ALD)장비를 비롯해 저압 실리콘 산화막 형성(LP Oxidation)장비 등 전공정 증착장비다.

　국제엘렉트릭코리아는 이들 장비 외에 삼성전자와 120억원 규모의 300㎜ 전공정장비 공급계약을 체결하는 등 내년 2월 말까지 경기도 기흥 소재 반도체 12라인에 장비를 공급할 예정이다.

　한편 이 회사는 일본의 히타치국제전기와 합작으로 설립된 회사로 2000년에 세계 최초로 양산용 저압 실리콘 산화막 형성장비를 개발한 데 이어 지난해 6월에는 루테늄 화학기상증착장비를, 이달 초에는 배치 타입 원자층증착장비 등을 개발해 삼성전자 등 국내 소자업체에 공급한 바 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>