반도체용 노광장비 내수시장 급팽창 전망

　국내 반도체 제조업계의 설비투자 확대계획에 힘입어 내년도 노광(리소그래피)장비시장이 급팽창할 전망이다.

　8일 업계에 따르면 ASML·캐논·니콘프레시젼 등 리소그래피장비 전문업체들은 국내 소자업체들의 공정 미세화를 통한 기존 생산설비의 업그레이드 및 300㎜ 신규설비투자 확대방침에 따라 내년 리소그래피장비 내수시장 규모가 약 4억5000만달러에 이를 것으로 내다봤다.

　이는 반도체장비산업이 호황기를 구가했던 2000년의 5억달러 규모에는 못미치지만 올해 예상치인 2억5000만달러 수준에 비하면 80% 이상 증가한 수치다.

　내년 리소그래피장비 내수 추정 규모는 극자외선(DUV:Deep Ultra Violet)스캐너와 I라인시스템을 합쳐 최대 60여대 수준으로 올해 25대보다는 200% 이상 증가할 전망이다.

　이 중 삼성전자가 신축중인 300㎜ 12라인 페이즈1과 2에 불화크립톤(KrF)스캐너 18대를 새로 도입하고 종전 200㎜ 라인 업그레이드용으로 I라인시스템 15대 가량을 도입할 것으로 알려져 올해에 이어 내년에도 국내 최대의 수요처가 될 예정이다.

　또 하이닉스반도체가 그동안 미뤄왔던 설비투자에 관심을 보이면서 내년중 공정 미세화 중심의 라인 업그레이드에 10여대를 도입할 것으로 점쳐지고 있고 동부아남반도체는 상우공장 라인 신설 과정에 5대 미만의 리소그래피장비를 추가로 도입할 것으로 예상된다.

　업계 관계자는 “2001년에는 한국시장이 28%의 세계시장 평균 감소율보다 두배나 높은 침체기를 겪기도 했으나 올해에는 세계시장 축소에도 불구, 한국은 소폭 상승할 전망이어서 매우 희망적인 시장으로 부상하고 있다”며 “내년에도 삼성전자·하이닉스·동부아남의 활발한 투자로 한국은 세계시장 평균 성장률을 뛰어넘는 큰폭의 성장이 낙관된다”고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>