* 중국 칩 제조라인 현황
지난 2000년 말 기준 중국에는 8인치 1개, 6인치 3개, 5인치 6개, 4인치 15개 등 총 25개의 칩 제조라인이 구축돼 있는 것으로 집계됐다. 이후 8인치 라인 2개와 6인치 라인 3개가 더 늘어 9월 말 현재 총 30개의 라인이 중국에 있다.
업체별로는 2001년부터 올 9월까지 톈진 모토로라 MOS17공장과 상하이 중신국제집적회로제조(상하이)유한회사에서 8인치 라인을 구축했고 주하이 난커그룹과 상하이 야금연구소 및 미국 실리콘밸리의 중국인들이 합작 설립한 상하이 신진반도체제조유한회사, 항저우 쓰란마이크로전자유한회사 등이 6인치 라인을 구축해 양산에 돌입했다.
이 기간 동안 기존의 25개 칩 제조라인에도 변화가 나타나 우시화징쌍화는 MOS라인을 화징그룹에 반환, 화징의 5인치 양극라인 생산능력이 향상됐고 지린시 화후이전자주식회사가 5인치 라인 구축을 완료해 생산에 돌입했다. 또 상하이 야금연구소는 MOS 4인치 라인을 6인치로, 베이징 대학 마이크로전자학연구소는 기존 3인치 라인을 4인치 라인으로 각각 업그레이드했다.
구축 중이거나 구축 계획을 세워두고 있는 칩 제조라인을 권역별로 살펴보면 다음과 같다.
◇상하이·쑤저우·저장 권역=상하이 화훙NEC 및 중신국제가 8인치 라인에서 양산에 돌입했고 상하이 훙리반도체제조유한회사가 8인치 라인을 구축, 연내 테스트장비를 장착해 연내 본격적으로 생산을 시작한다. 상하이 버이링유한회사도 8인치 라인을 완성했고 상하이 선진반도체제조유한회사도 8인치 라인 구축을 위한 공장 건물을 건설중이다.
쑤저우에서는 외국계 업체인 허젠과기가 8인치 라인을 구축했고 창저우에서는 미국 프리마사가 설립한 프리마(창저우)마이크로전자회사가 8인치 라인 완료단계에 있다. 또 우시에서는 화징상화회사가 이미 6인치 MOS라인을 구축했으며 외국에 있는 상화 반도체회사도 우시 국가하이테크기술산업개발단지에 또 1개의 6인치 라인을 구축할 예정이다. 이밖에 양쯔강 북쪽에 위치한 난징 하이테크기술산업개발지단지와 외국의 워파이크 상업고문유한회사가 제휴해 6인치 라인을 공동 구축키로 했다.
저장성에서는 올 상반기 항저우 쓰란마이크로전자유한회사가 6인치 라인을 구축했고 외국계 아시아태평양과기개발유한회사와 다모우전자국제유한회사가 공동 설립한 중웨이적체회로유한회사가 닝버 보세구역에서 6인치 라인을 설치하고 있다. 또 말레이시아 웬타이 과기그룹은 후저우시에서 6인치 라인을 구축할 계획을 하고 있다. 안후이 제214병기연구소는 기존의 4인치 라인을 닝버시 과기단지에 이전, 닝보 밍화마이크로전자유한회사를 설립했다. 이밖에 밍화는 미국 IMP와 제휴, 궈휘이밍화를 설립하고 IMP의 5인치 라인을 닝보시로 이전할 계획이다.
◇베이징·톈진 권역=이 권역에 대표적인 업체로는 미국 모토로라로 톈진 시청개발단지에 8인치 라인을 구축했다. 베이징에는 수도강철이 주도해 설립을 추진하고 있는 화샤가 8인치 라인을 구축할 계획을 하고 있다. 상하이 장쟝과기단지에 있는 중신국제집적회로제조유한공사도 베이징에 0.18㎛급 8인치 라인과 0.13∼0.10㎛급 12인치 라인을 중국 최초로 구축키로 했다.
◇광둥성·푸젠성 권역=광둥성내 선전시 정부에서는 오래 전부터 마이크로전자산업을 발전시킨다는 목표를 세워 최근 수년간 박차를 가하고 있다. 지난해 10월 선초우반도체유한회사는 8인치 라인 구축에 착수했고 선전 센커는 외국의 나노기술 개발업체와 공동으로 센신반도체유한회사를 설립, 8인치 라인을 구축할 계획이다. 이밖에 선전시 정부는 월 5000장을 생산할 수 있는 8인치 라인을 보유한 마이크로전자연구개발센터를 설립할 계획이다.
푸젠성 당국은 지난해 6월 푸저우에 중국-대만간 마이크로전자콘퍼런스를 개최한 것을 계기로 화순반도체제조회사를 설립하고 6인치 라인을 구축할 계획이다.
◇기타 권역=이밖에 안선메이반도체회사·러산무선전유한회사·모토로라가 공동 설립한 러산-비니크스반도체유한회사가 중국 서부지역에서 최초로 쓰촨 러산에서 6인치 라인 구축을 위한 첫 삽을 떴다. 또 서부지역 청두 및 시안시에도 6인치 라인이 선보일 예정이다.
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