<2001 한국전자전>전자부품콘테스트 수상작-최우수상; LG실트론

　

　◇LG실트론-반도체소자용 무결함 실리콘웨이퍼

　LG실트론(대표 정두호 http://www.lgsiltron.co.kr)은 독자개발한 반도체 소자용 무결함 실리콘웨이퍼로 최수우상을 수상했다.

　반도체 소자가 고집적화될수록 반도체 소자의 수율 및 품질에 미치는 원재료 특성의 영향도가 점차 커지면서 실리콘웨이퍼의 품질특성 또한 중요시되고 있다. 일반적으로 웨이퍼에는 중심에서 가장자리까지 COP, FPD, OiSF, LDP의 품질특성(결정결함)이 순차적으로 나타나며 이는 소자 수율 및 품질에 영향을 미치는 것으로 확인되고 있다.

　실리콘웨이퍼에 존재하는 결정결함은 실리콘 융액의 응고과정에서 발생하는데 LG실트론은 응고잠열의 소멸경로를 균일하게 하면서 소멸정도의 수준을 극대화할 수 있는 시스템을 개발, 적용했다.

　이번에 LG실트론이 개발한 무결함 실리콘웨이퍼는 결정결함을 완전히 제거함과 동시에 웨이퍼 중심에서 가장자리까지 품질 균일도를 대폭 개선한 새로운 개념의 실리콘웨이퍼다. 특히 실리콘 단결정 결함제어기술을 외부와의 기술제휴 없이 독자 개발했으며 기술개발 단계에서부터 제조설비의 국산화를 추진, 50% 이상의 장비국산화를 이뤘다.

　LG실트론이 무결함 실리콘웨이퍼를 개발함에 따라 일본이 대부분 잠식하고 있는 국내 무결함 실리콘웨이퍼 시장에서 대응이 가능해졌다. 또 무결함 실리콘웨이퍼 제조를 위해 설계된 신개념의 핫존(Hot Zone)을 활용해 하위품질의 결정을 성장시킬 경우 냉각 구동력 및 품질 균일화 기술이 뒷받침되기 때문에 생산성 향상을 기대할 수 있다는 게 회사측의 설명이다.

　신개념 핫존은 기존 핫존에 비해 열축적 효율이 좋아 에너지 절감은 물론 금속 불순물로 인한 오염이 방지돼 고품질의 제품을 생산할 수 있다. 또 낮은 산소농도를 가지는 제품을 자기장과 같은 부가적인 장치 없이 제조할 수 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>