<한국반도체산업대전2001>기타출품업체:성원에드워드

◆성원에드워드-iF 1800진공펌프

지난 92년 영국의 에드워드하이베큠인터내셔널의 모회사인 BOC 그룹과 합작으로 설립된 성원에드워드(대표 김중조 http://www.bocedwards.com)는 이번 전시회에 자체 기술로 국산화한 iF1800 진공펌프를 비롯한 각종 펌프를 전시한다.

　iF1800 진공펌프는 성원에드워드가 진공분야에서 다년간 축적한 경험과 기술력을 바탕으로 지난 2년간 개발인원 10명을 투입, 국산화한 제품으로 BOC 그룹에 역수출되기도 했다. 또 개발기간에 100여종의 새로운 국산화 부품을 발굴, 생산하는 등 장비·부품 국산화에 크게 공헌했다는 평을 받고 있는 제품이다.

　성원에드워드는 반도체 및 액정표시장치(LCD) 제조공정에서 전력소모량을 크게 줄여주는 드라이펌프(iH 스마트 시리즈)도 출품한다.

　이 제품은 반도체 제조과정의 식각·화학증착공정에서 진공을 형성시키는 장치로 기존의 AC모터 대신 DC모터를 채택, 소비전력을 30%까지 절감시킴으로써 24시간 풀가동되는 반도체 제조라인에서의 열 발생문제를 해결했을 뿐 아니라 이산화탄소 배출량도 줄여준다.

　성원에드워드는 현재 국내 최대의 진공 펌프 수리시설(연 5000대 이상)과 조립 생산시설(클라스 1만 청정시설)을 보유하고 있으며 특히 진공 펌프 수리시설의 경우 규모뿐 아니라 최고의 품질 관리를 위한 새로운 관리 시스템을 도입, 총괄적인 데이터베이스를 구축하고 완벽한 수리를 제공함으로써 고객 중심의 서비스를 제공하고 있다.