<한국반도체산업대전2001>재료분야출품업체:원익

◆원익-쿼츠웨어



　세계 3위의 쿼츠웨어 제조업체인 원익(대표 이용한 http://www.wonik.com)은 쿼츠를 이용한 튜브류, 보트류, 캡류, 배스류 등 다양하게 적용될 수 있는 쿼츠웨어를 선보인다.

　반도체 제조과정에서 산화막을 형성하거나 확산 및 가열냉각 등의 공정에 사용되는 확산로 속에서 웨이퍼를 보호하기 위해 사용되는 튜브류 쿼츠웨어는 외부로부터 유입되는 파티클 방지와 함께 웨이퍼가 고온 상태에서도 변형이 없고 고순도를 유지하게끔 한다. 원익은 이번 전시회에 8인치 및 12인치용 프로세스 튜브를 선보인다.

　보트류는 확산, 화학증착(CVD) 공정에서 8인치 웨이퍼를 종형으로 적재한 후 고온의 전기로 내의 반응관 속에 장착된다. 원익의 보트류는 자동화된 반도체 장비에 적용될 수 있도록 3차원 측정에 의해 정확하게 가공된 슬롯으로 제작돼 높은 정밀성을 자랑한다.

　웨이퍼 세정공정과 웨트 에칭공정에 사용되는 제품인 배스류는 웨이퍼 가공시 사용되는 수많은 화학약품에 안정적으로 대응해 웨이퍼에 손상을 주지 않는 것이 가장 큰 특징으로 화학약품의 종류와 사용방법에 따라 제품의 형태가 다소 차이가 있으나 석영관, 석영보트와 같이 수가공 용접에 의해 제작된다.

　이밖에 원익은 보트류를 받쳐주고 내부의 열이 손실되지 않도록 막아주는 보온역할을 하는 캡류와 각 쿼츠웨어끼리의 접속부나 반도체 장비와의 연결부 또는 주변장치에서의 오염원을 줄이기 위해 사용되는 쿼츠 액세서리류 등도 선보인다.