<한국반도체산업대전2001>전공정장비출품업체:실리콘테크

　◆실리콘테크-트랙시스템



　실리콘테크(대표 우상엽 http://www.stl.co.kr)는 이번 전시회에서는 반도체 제조공정 중 전공정 장비인 트랙 시스템 ‘스패로우(Sparrow)Ⅰ’을 비롯해 후공정장비인 각종 검사시스템을 전시한다.

　실리콘테크의 트랙 시스템은 전공정의 핵심공정인 포토리소그래피(photolithography)공정에 적용되는 설비로 감광액을 도포한 다음 노광작업을 진행한 후 현상하는 설비로 고집적도 공정까지 진행할 수 있는 성능을 가지고 있다.

　특히 3인치에서 8인치까지의 반도체 웨이퍼를 컨버전(conversion)할 수 있어 활용도가 뛰어나며 스택(stack)구조의 베이크 유닛과 전체 서버구조는 사용상 편의를 최대한 도모했다. 또 터치스크린 방식의 멀티미디어 인터페이스를 제공해 장비운용을 간편하며 디지털 진공센서를 내장해 웨이퍼의 정위치 및 유무를 신속히 감지할 수 있는 기능을 제공한다.

　첨단기능을 내장하고 주문 후 납기기간이 3, 4개월에 불과해 고객의 요구에 즉각 대응이 가능하다. 이 장비는 국내 반도체 및 광소자 업체는 물론 대만 유수의 패키지 파운드리 반도체 제조회사에도 공급돼 성능 및 안정성을 이미 검증받았으며 미국의 장비업체와도 수출상담이 진행되고 있어 시장전망이 매우 밝다.

　실리콘테크는 후공정장비인 반도체 메모리 소자의 전기적인 특성을 검사할 수 있는 컴포넌트 시스템 레벨 테스터를 비롯해 각종 시험검사장비를 함께 출품했다.