<한국반도체산업대전2001>전공정방비출품업체:아토

　◆아토-가스공급시스템

　아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 가스공급시스템, 가스스크러버, 가스정화장치 등 가스와 관련된 각종 장비와 플라즈마 클리너 등을 전시한다.

　이 중 가스공급시스템인 ‘FA-2000시리즈’는 반도체 제조시 필수요소인 고압, 독성가스를 디바이스별 프로세스 특성에 맞게 압력을 조절해 안전하고 오염되지 않게 공급하는 장치다.

　이 장치는 가스의 흐름을 차단·조절하고 배관내 가스의 압력을 표시하거나 먼지를 제거하는 여러 부품 및 각 부품을 연결하는 튜브 등으로 구성된 배관계와 가스의 특성에 맞는 안전장치, 각 부품을 제어하고 용도에 맞게 운전할 수 있도록 프로그램화한 제어부 등으로 구성돼 있다.

　‘FA-2000시리즈’는 90년 이후 국내 소자업체에 공급돼 사용되고 있으며 94년부터는 대만 소자업체에 수출되는 등 국내에서만 약 40%의 시장점유율을 확보하고 있다.

　함께 전시된 아토의 가스정화장치는 반도체 제조분야뿐만 아니라 액정표시장치, 디스플레이 등 고순도 가스를 사용하는 전 분야에 적용할 수 있는 범용장비로 장비의 대당 가격이 시스템 구성에 따라 1000만원에서 2억5000만원에 이르는 고부가가치 제품이다.

　더욱이 1G 이상의 용량을 제공하는 반도체 공정에서는 반드시 사용해야 하는 장비여서 수요가 점차 확대되고 있다.

　이밖에도 플라즈마 클리너 역시 환경규제 강화에 따라 수요확대가 예상되는 전자부품내 유기불순물을 제거하는 산업용 장비로 BGA, 리드프레임, PCB 제조공정에 적용할 수 있다.