<한국반도체산업대전2001>전공정장비출품업체:케이씨텍

　◆케이씨텍-웨트스테이션

　케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)은 반도체 웨이퍼용 오토 웨트스테이션과 평판디스플레이(FPD)용 웨트스테이션, 극저온 CO₂세정기 등을 전시한다.

　케이씨텍의 웨이퍼용 오토웨트스테이션은 간편한 작동과 관리기능이 특징으로, 내부설계를 단순화해 장비의 크기를 줄였고 배관을 최적화해 약액의 사용량을 절감했다. 또한 구동 운용체계(OS)로 윈도NT를 채택해 스케줄 관리가 용이하며 공장자동화 추세에 맞춰 메인시스템과의 통신이 가능하다.

　이와 함께 TFT LCD, PDP, OELD에 적용가능한 FPD 웨트스테이션도 출품하는데 이 제품은 대용량 글라스에 적용 가능하며 약액의 온도, 유량, 혼합비의 관리가 용이하고 처리부와 구동부를 분리처리해 체임버의 오염을 방지할 수 있는 장점이 있다.

　케이씨텍이 차세대 주력상품으로 손꼽고 있는 극저온 CO₂세정기(cryogenic CO₂ cleanger)는 극저온 CO₂를 이용해 반도체 부품 등에 퇴적된 오염물질이나 표면의 오염입자를 제거하기 위한 장비다. 이 장비는 종전 화학적 세정기술에 비해 유해 폐기물의 배출이 전혀 없으며 세정속도가 단축될 뿐만 아니라 세정표면에 손상을 주지 않는 첨단장비다.

　극저온 CO₂ 세정기술을 세계 최초로 상용화한 케이씨텍은 기술개발 성과를 인정받아 지난 5월에 개최된 직무발명 경진대회에서 대통령상을 수상한 바 있다.

　이밖에도 케이씨텍은 이번 전시회에 가스 캐비닛, VMB/VMP 등의 가스 공급장치, 환경장비인 가스 스크러버 등의 다양한 제품을 전시한다.