나노포커스 X-선 시스템, FXS 160.25NT 출시

　X선검사장비 전문업체 한국아이티에스(대표 방정기 http://www.kits-euro.co.kr)는 독일 파인포커스가 개발한 나노포커스 X선 비파괴 투시검사장비(모델명 FXS 160.25NT)를 국내에 도입, 시판한다.

　이 장비는 파인포커스가 자체 개발한 나노포커스 X선 튜브를 적용한 제품으로 볼그리드어레이(BGA) 및 마이크로 BGA, 플립칩 및 인쇄회로기판(PCB), 와이어·볼·웨지(wedge) 본드, 칩온보드(CoB), 칩스케일패키지(CSP) 등의 상태검사 등 제조업 전분야에 적용할 수 있다.

　자동화된 보이드(void) 계산 및 BGA 측정이 가능하며 별도의 보정작업 없이 범프 크기 측정도 가능하다. 또 1미크론(1㎛은 100만분의 1m) 이하 물체의 인식 및 해상도를 지원하며 튜브 수명이 반영구적이어서 유지비용을 최소화했다.

　최대 배율은 7200배, 기하학적 배율은 2400배까지 제공하고 5축의 CNC를 지원한다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>