<오늘의 용어>멤스(MEMS:Micro electro-mechanical system)

　초미세기계가공기술(MEMS:Micro electro-mechanical system)이란 반도체 가공방법을 응용해 미세기계구조를 가공하는 기술 또는 가공된 제품으로 크기가 수㎛ 이하의 초미세구조 형성이 가능하고 균일한 가공성과 엄청난 양산성을 갖고 있는 것이 특징이다.

특히 MEMS를 반도체 기판상에서 구현할 경우 회로 등의 전기적 장치와 기계적 장치가 동일한 가공방법에 의해 함께 집적돼 품질 및 비용면에서 월등한 경쟁력을 갖게 되며 미국·일본 등에서는 21세기 10대 유망기술로 선정해 국가적인 연구투자를 지속하고 있다.

　현재 MEMS기술의 응용범위는 자동차에어백의 가속도센서나 잉크젯프린터 헤드 등에서 벗어나 무선부품, 광부품, 미세기계 분야로 급속히 확산되고 있으며 국내서도 관련 벤처기업의 창업붐이 일고 있다.

　<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>