한백, 반도체·LCD 제조용 장비공급 가시화

반도체·액정표시장치(LCD) 장비 제조 벤처기업인 한백(대표 박근섭·박재연 http://www.hanvac.co.kr)이 화합물 반도체 제조용 장비의 내수판매 및 수출에 적극 나섰다.

이 회사는 자체 개발한 질화갈륨(GaN) 제조용 유기금속화학증착(MOCVD)공정장치(모델명 솔로몬) 1대를 최근 대만 발광디스플레이(LED)모듈 제조업체에 공급한 데 이어, 장치 3대의 추가 수출계약 협상을 진행중이라고 25일 밝혔다. 이 회사는 또 화합물 반도체 생산을 준비중인 국내업체에서도 장비 양산적합성 평가를 실시중이라고 덧붙였다.

이 회사가 공급하는 MOCVD장치는 그동안 전량 해외에서 수입해 사용하던 것으로 단일 웨이퍼 공정수행기능을 갖추고 있다.

박재연 사장은 『내년 1월까지 멀티 웨이퍼 공정방식의 MOCVD장치를 개발해 국내 대형업체와 해외업체들을 대상으로 공급할 계획』이라고 말했다.

아울러 이 회사는 지난 하반기부터 LG필립스LCD 등과 공동으로 국산화에 착수한 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조용 열처리(annealing) 공정장비를 내년 8월중 내놓기로 했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>