TSMC, 최초로 300㎜웨이퍼 이용 본격 수탁생산 개시

세계 최대 반도체 수탁생산(파운드리) 업체인 대만 TSMC가 300㎜웨이퍼를 사용하는 상용 제품의 수탁생산에 들어갔다.

「세미컨덕터비즈니스뉴스」에 따르면 이 회사는 대만 타이난에 있는 제6공장의 300㎜ 시험(파일럿) 라인에서 0.18미크론 미세가공 기술을 이용해 고객이 주문한 제품의 생산에 최근 착수했다고 발표했다.

300㎜ 웨이퍼를 이용해 수탁생산에 나선 것은 TSMC가 세계 최초다. 이 회사는 미국 알테라와 대만의 블릴리언스세미컨덕터(BSI) 두 개 회사 제품을 생산하고 있으며 생산 제품은 알테라의 프로그래머블 로직 제품과 BSI의 휴대기기용 저전력 S램이라고 밝혔다.

TSMC의 제6공장에서는 올 초 300㎜ 시험 라인 구축을 시작했는데 설비가 완전히 갖춰지면 생산능력이 월간 4500장(200㎜ 환산으로 약 1만장)에 달한다.

TSMC는 300㎜ 웨이퍼의 본격 생산을 위해 신츄(제12공장)와 타이난(제14공장)에 월 2만5000장과 3만장을 생산할 수 있는 양산라인을 구축중이다.

제12공장은 다음달 클린룸 건설에 들어가며 내년 4분기중 가동할 예정이다. 제14공장은 내년 2분기중 클린룸 건설을 추진하고 2002년 초 생산을 착수할 계획이다.

TSMC는 이밖에도 지난 7일 세번째 양산 공장(제15공장)을 타이난에 건설할 계획이라고 발표했다.

<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>