좋은기술, 반도체 웨이퍼 쿨링 및 핫 플레이트 오븐 개발, 공급 개시

좋은기술(대표 이영원)은 반도체 웨이퍼 쿨링(wafer cooling) 시스템 및 핫 플레이트 오븐(hot plate oven)을 국산화하는 데 성공했다고 21일 밝혔다.

이 회사가 정부의 공업기반기술개발과제 일환으로 개발한 웨이퍼 쿨링 및 핫 플레이트 오븐은 반도체 포토 리소그래피(photo lithography)공정의 트랙(track)장비에 내장되는 핵심 모듈로 8인치 및 12인치 웨이퍼용 두개 모델이다.

이번 제품은 온도제어 정밀도면에서 핫 플레트 오븐이 온도 150도에서 ±0.1도, 웨이퍼 쿨링 시스템은 23도에서 ±0.1도로 외국 경쟁사 제품에 비해 높은 정밀도를 가지고 있다. 아울러 최대 12채널까지 다중제어가 가능하다.

이 회사는 올들어 이달까지 8인치 웨이퍼용 핫 플레이트 오븐 330여개를 국내 반

도체 트랙장비업체에 공급한 데 이어 이번주 12인치 웨이퍼용 핫 플레이트 오븐도 공급하기 시작했다.

이영원 사장은 『이번 제품은 비용대비 성능면에서 외국제품보다 우수하다』며 『차세대 12인치 웨이퍼용 쿨링 시스템의 개발에도 착수해 내년 초에 출시하고

해외시장에 진출할 계획』이라고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>