SEMI 제조기술 제안

세계 반도체 제조장비·재료 제조업체 약 2500개사 참가하는 국제반도체제조장비재료협회(SEMI)가 연내 고속 데이터 처리가 가능한 반도체의 제조방법이나 신재료를 반도체 제조업체에 제안할 계획이라고 「일본경제신문」이 보도했다.

반도체 제조기술에 대해서는 반도체 제조업체가 연구하고, 그에 따라 장치·재료업체가 재료 및 장비를 제공하고 있다. 그러나 각 제조업체별로 사양이 다르기 때문에 장비·재료 제조업체의 생산비용이 상승하는 문제가 있다. 따라서 이번 SEMI의 제조기술 제안 추진은 장비·재료업체 입장에서 공통 사양을 마련, 제안해 생산을 비용을 낮추겠다는 움직임으로 분석된다.

SEMI는 이를 위해 일본반도체제조장치협회(SEAJ) 등 세계 각 국 및 지역의 장비·재료 분야 업계단체가 참가하는 검토회를 발족했다.

검토회는 선폭 0.1미크론 이하의 미세회로를 그리는 노광기술, 박막형성기술, 고속처리가 가능한 절연막재료 등을 강구해 연내 반도체 제조업체가 책정하는 국제반도체기술로드맵(ITRS)에 제언할 방침이다.

<신기성기자 ksshin@etnews.co.kr>