서울일렉트론, 반도체 제조용 종형확산로 수주 공급 본격화

반도체장비 공급업체인 서울일렉트론(대표 채인철 http://www.sel.co.kr)은 반도체 제조공정용 핵심장비 중 하나인 종형확산로(vertical diffusion furnace)를 LG실트론 구미공장으로부터 수주하고 생산에 들어갔다고 8일 밝혔다.

지금까지 횡형확산로를 공급해온 서울일렉트론은 올초 일본 디에스아이(DSI)로부터 종형확산로 기술을 이전받아 이번에 신모델 1호기를 개발해 첫 공급에 나선 것이다.

이번에 공급할 확산로는 반도체 제조공정 중 산화막 형성에 주로 사용하는 장치로 웨이퍼 제조라인 1개당 100대 가량이 소요되며 대당 장비가격도 5억원을 웃도는 고가의 장비다.

반도체사업부의 한 관계자는 『종형확산로 등의 생산을 위해 올초 매입한 2000평 규모의 천안공장 내부공사가 완료됨에 따라 이달부터 종형확산로 생산에 본격 들어갔다』고 말했다.

이 회사는 이를 계기로 차세대 대구경 웨이퍼를 수용, 확산할 수 있는 300㎜ 웨이퍼 제조용 종형확산로의 개발에 조만간 착수, 2001년에 시제품을 선보일 예정이다.

서울일렉트론은 종형확산로의 본격 생산에 따라 반도체부문에서 100억원의 매출을 올릴 수 있을 것으로 내다보고 있다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>