미 로보틱비전시스템, 반도체 불량 검색장비 개발

미국 반도체 검사기기업체 로보틱비전시스템(RVSI)은 반도체 칩의 불량품을 검색할 수 있는 획기적 장비를 개발했다고 「세미컨덕터비즈니스뉴스」가 보도했다.

이번에 개발된 검색장비는 지금까지 반도체 칩 제조공정의 문제점으로 지적돼 왔던 「숄도버스」와 「실버스」를 발견하는 장비다.

숄도버스와 실버스는 집적회로 패키지에서 나오는 리드에 붙어있는 미세한 불순물의 일종인데 특히 금속성 버스는 전기테스트를 통과했더라도 조립공정에서 누전의 위험성이 있는 것으로 알려져 있다.

이번 장비개발과 관련, RVSI의 기술담당 이사 하워드스톤은 『지금까지는 사람들이 수작업으로 실버를 찾았기 때문에 발견하는 데 어려움이 있었다』며 『무해한 플라스틱 버스와 문제가 되는 금속 버스를 구별하기 어렵다는 점에서 이번 장비개발은 획기적인 것』이라고 말했다. <명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>