일 NEC, 시스템 LSI 3배로 증산

일본 NEC(http://www.nec.co.jp)는 시스템 LSI 생산능력을 현재의 약 3배로 늘린다고 「일본경제신문」이 보도했다.

이를 위해 NEC는 시스템 LSI 전용인 쓰루오카 공장에 약 820억엔을 투자, 오는 2002년까지 선폭 0.1㎛의 최첨단 미세가공기술을 도입한다는 방침이다. 이 기술을 이용해 차세대휴대폰단말기 및 디지털가전기기용 시스템 LSI의 수요확대에 대비한다.

쓰루오카 공장에는 약 5000㎡의 클린룸이 신설된다. 이 공장의 현공정기술은 0.13㎛인데 미세화 추진과 함께 구리배선설비도 도입한다는 계획이다.<명승욱기자 swmay@etnews.co.kr>