<세미콘코리아 2000 특집>램리서치코리아

램리서치코리아(대표 김동성)는 다이일렉트릭(Dielectric) 에칭시스템(모델명 Exelan)을 출품한다.

미국 램리서치가 개발한 「Exelan」은 이중 무선주파수를 사용하는 에칭시스템으로 0.18μm 이하의 차세대 디바이스에 대응할 수 있다.

「Exelan」은 단순한 설계를 바탕으로 모든 모듈을 장착했으며 하부전극과 상부전극 사이의 간극이 고정돼 있어 웨이퍼 표면의 압력을 정확하게 제어할 수 있는 기능을 갖추고 있다.

국내 소자업체에서 사용중인 「Exelan」은 부품 수를 줄이면서도 부품수명을 늘려 유지·보수에 들어가는 소모성 비용을 크게 줄여준다.

아울러 「Exelan」은 게이트·액티브마스크(Gate·Active Mask), Low k, 듀얼 다마신(Dual Damascene), 콘택트(Contact), 비아(Via), 스페이서(Spacer) 및 패시베이션(Passivation) 에칭공정에서 우수한 성능을 보장하며, 시간당 처리 웨이퍼 수가 60wph 이상이다.