<세미콘코리아 2000 특집>출품작-다우코닝의 SOG

다우코닝(대표 황경수)은 이번 전시회에 웨이퍼 제조공정시 금속간을 절연시켜주는 SOG(Spin On Glass) 화학재료인 「폭스(FOx)」를 선보인다.

이 제품은 다층배선 회로구조에서 층간 절연막으로 활용할 수 있고 배선간 단차를 줄여 표면평탄도를 향상시키는 데 활용된다. 용매의 분류에 따라 「FOx-1x」와 「FOx-2x」로 구분되며 원하는 두께영역에 따라 각각 폴리머수지의 첨가량 비율을 달리 한 「FOx-14」 「15」 「16」 「17」과 「FOx-22」 「23」 「24」 「25」 등으로 세분화된다.

이 제품은 공정단순화를 구현하며 원하는 두께를 한번 회전도포에 의해 얻을 수 있으며 우수한 갭필링 기능을 갖추고 있다. 또 낮은 유전상수를 유지시켜 반도체 회로밀도의 조밀화에 따라 우려되는 신호지연, 잡음유발 및 전력소모 등을 향상시켜준다.

현재 폭스제품군은 로직 및 메모리소자 모두에서 활용되고 있으며 이미 10개 업체들이 이를 이용해 생산설비에서 활용하고 있다.