<세미콘코리아 2000 특집>케이씨텍

케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr)은 이번 전시회에 플루오르화수소 믹싱(HF Mixing) 시스템, 과불화화합물 플라즈마 스크러버(PFC Plasma Scrubber)등 다양한 장비와 반도체 관련 소모품을 선보였다.

이 가운데 HF 믹싱시스템은 HF 원액(50wt%)과 디아이 워터(DI water)를 필요한 비율로 자동혼합하고 반도체 공정장비로 믹스트(Mixed)HF를 공급하기 위한 장비다.

이 시스템은 프리믹서모듈을 이용해 혼합비에 제한이 없고 구조가 간단한 반면 장비 크기는 기존에 비해 약 3분의 2로 줄였다.

또 이 시스템은 고정밀도와 축전도(Capacity) 증가, 장비의 고집적화에 따른 저농도 믹스트HF도 안정적으로 공급할 수 있다.

이밖에 PFC 플라즈마 스크러버는 반도체 제조에 사용하는 지구온난화가스(Perfluorocompound Gas)인 CF₄, C₂F●, NF₃, SF●, CHF₃, C₃F● 등의 가스를 플라즈마 방식(ICP)을 이용, 분해하여 무해한 가스로 변화시키는 장치다.