<세미콘코리아 2000 특집>동진쎄미켐의 반도체 및 LCD용 화학제품

동진쎄미켐(대표 이부섭)은 이번 전시회에 포토레지스트·박리액·세정액·EBR시너 등의 반도체 및 액정표시장치(LCD)용 화학제품을 선보인다.

포토레지스트는 특정한 파장의 빛에 반응해 화학적 변화를 일으킨 후 특정 선폭을 전사할 수 있도록 하는 고분자화합물로, 이번에 출품되는 제품군은 G·i라인 포토레지스트와 0.25미크론 이하의 미세패턴에서 활용할 수 있는 DUV용 포토레지스트 등이다. 특히 DUV용 포토레지스트 중 ArF용 포토레지스트는 256MD램 이상의 차세대 반도체칩에 사용되는 미세회로공정에 활용되는 핵심재료다.

이외에도 다층배선화로 더욱 평탄화가 요구되는 화학기계적 연마용 슬러리 및 패드, 브라운관용 반사 및 대전방지제, 컬러필터용 포토레지스트, 컬러이미지 센서부착형 카메라에 색을 표현하는 컬러필터용 포토레지스트, EMC 등이 이번 전시회에 선보인다.

동진쎄미켐은 반도체와 LCD의 제조공정에 사용되는 각종 화학재료를 제조, 공급하는 업체로 지난 86년에는 EMC, 87년에는 국내업체로는 최초로 반도체용 포토레지스트를 개발한 바 있다.