대만 반도체업체인 TSMC(Taiwan Simiconductor Manufacturing)가 차세대 반도체 공정인 12인치(300㎜)웨이퍼 공장 건설에 착공했다고 「세미컨덕터 비즈니스 뉴스」가 밝혔다.
TSMC는 20억달러 이상을 이 공장에 투입해 2002년부터 양산할 계획인데 한달에 최대 2만5000개까지 생산할 수 있다.
이 회사는 이를 이용해 로직제품군과 메모리, 칩세트 등을 생산할 예정인데 아울러 0.1미크론과 그이하 초미세공정 연구도 이곳에서 하게 된다.
TSMC는 내년까지 기간시설을 구축하고 본격적인 장비설치는 2001년까지 끝낼 예정이다.
한편 대만 UMC도 타이완 남부에 내년 12인치웨이퍼 공장을 건설한다고 밝힌 바 있다.
방은주기자 ejbang@etnews.co.kr
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