<화요특집-KOSE 99> 주요업체 출품작.. LG실트론 "실리콘 웨이퍼"

　LG실트론(대표 이창세)은 반도체 제조의 핵심소재인 실리콘 웨이퍼 전문생산업체로 4∼8인치 전 규격의 폴리시드 및 에피택셜(Epi) 웨이퍼와 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼를 전시한다.

　폴리시드 웨이퍼는 일반적으로 웨이퍼로 불리는 반도체 원재료로, LG실트론은 이번에 자체기술로 개발한 각종 크기의 제품을 내놓았다.

　이와 함께 Epi 웨이퍼는 다이 수율이 기존 제품에 비해 10% 이상 향상됐으며 특성 효과가 뛰어나 도시바·히타치·IBM·지멘스 등 세계 반도체업체들이 64MD램용 재료로 많이 이용하고 있다.

　LG실트론은 Epi 웨이퍼를 국내 처음 개발, 여러 업체들에 공급중이다.

　이 회사가 해외 벤처기업과 공동으로 개발한 SOI 웨이퍼는 표면과 기층부 사이에 인위적으로 절연층을 형성시키는 방법으로 기층부가 표면에 미치는 영향을 제거, 고순도 실리콘층의 효율 및 특성을 대폭 향상시킨 신재료다.

　LG실트론은 해외 벤처기업과 공동연구를 통해 개발한 SOI 웨이퍼를 선보인다. 이 제품은 절연벽이나 웰(Well) 형성 공정을 줄일 수 있어 제품개발 및 생산기간, 비용을 줄일 수 있고 기존 장비로 가공할 수 있어 설비투자에 대한 부담이 없도록 하는 게 장점이다.

　이 회사는 6시그마 운동을 경영에 도입해 제조부문은 2002년까지, 연구개발 부문은 2003년까지 생산성 향상 및 불량률 축소를 실현할 계획이다.